| 发明名称 |
A NANO IMPRESSION LITHOGRAPHIC PROCESS WHICH INVOLVES THE USE OF A DIE HAVING A REGION ABLE TO GENERATE HEAT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1639411(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.29 |
| 申请号 |
EP20040743806 |
申请日期 |
2004.06.22 |
| 申请人 |
CONSIGLIO NAZIONALE DELLE RICERCHE INFM ISTITUTO NAZIONALE PER LA FISICA DELLA MATERIA |
发明人 |
TORMEN, MASSIMO |
| 分类号 |
B29C33/02;B29C45/73;B81C99/00;B82B3/00;G03F7/00;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
B29C33/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
