发明名称 Verfahren zur Erzeugung von Wasserdampf
摘要
申请公布号 DE69829543(T2) 申请公布日期 2006.03.30
申请号 DE19986029543T 申请日期 1998.12.08
申请人 FUJIKIN INC., OSAKA;HITACHI, LTD. 发明人 MINAMI, YUKIO;KAWADA, KOJI;TANABE, YOSHIKAZU;IKEDA, NOBUKAZU;MORIMOTO, AKIHIRO
分类号 F22B1/00;C01B5/00;H01L21/316 主分类号 F22B1/00
代理机构 代理人
主权项
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