基板定位平台

摘要

一种基板定位平台，用以承载多个基板于多个基板固定区中。此基板定位平台至少包括：设置于每一个基板固定区中的多个真空孔、分别环绕此些真空孔的多个凹槽、及分别设置于凹槽中多个防滑组件，用以接触每一个基板的表面。此基板定位平台使用抽真空的方式来固定每一个基板，而每一个基板的一直角顶角实质对齐于每一个基板固定区的一直角角落。

主权项

1.一种基板定位平台，具有多个基板固定区，用以承载多个第一基板，其中该基板定位平台至少包括：多个第一真空孔，设置于每一该些基板固定区中，用以使用抽真空的方式来固定每一该些第一基板，并使每一该些第一基板的一顶角实质对齐于每一该些基板固定区的一角落；多个第一凹槽，分别环绕该些第一真空孔；以及多个第一防滑组件，分别设置于该些第一凹槽中，用以接触每一该些第一基板的一表面。