| 发明名称 |
METHOD OF MEASURING SUB-MICRON TRENCH STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1639344(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.29 |
| 申请号 |
EP20040744392 |
申请日期 |
2004.06.23 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS, N.V. |
发明人 |
MAZNEV, ALEXEI |
| 分类号 |
G01N21/63;G01N29/07;G01N29/24;G01N29/30;G01N29/44;(IPC1-7):G01N21/17 |
主分类号 |
G01N21/63 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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