检出对象的参数检出方法以及检出装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够简单、正确地检测出检出对象的参数的检出对象的参数检出方法以及检出装置。在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω方向分别被设定为0°以及90°的方向的状态下，测定透射光强度。并且，计算出所测定的透射光强度的比r。此外，相对于不同的至少两个以上的ω与α的组合，测定在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向被设定为任意的角度α的状态下的透射光强度。并且，基于所测定的多个透过光强度和比r，检测出检出对象(12)的延迟和厚度。

主权项

1.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为0°的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₀的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₀，0°)，在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为90°的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₀的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₀，90°)，使用所测定的透射光强度I(ω₀，0°)、I(ω₀，90°)和下式，计算出比r，[数1]相对于不同的至少2个以上的(ω，α)的组合，测定在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下的透射光强度I(ω，α)，使用所测定的至少2个以上的透射光强度I(ω，α)和下式，检测出检出对象的延迟R，[数2] $I(\omega ,\alpha )=I_0·T_p[{\cos }^2\omega ·{\cos }^2\alpha +r·{\cos }^2{\omega }_0·{\sin }^2\omega ·{\sin }^2\alpha$ $+\frac{1}{2}\sqrt{r}·{\cos \omega }_0·\sin 2\omega ·\sin 2\alpha ·\cos \left(\frac{2\pi }{\lambda }R\right)]$其中，I₀为入射光的强度，T_p为相对于p偏振光的检出对象的透射率，λ为入射光的波长。