发明名称 烷基苯乙烯聚合物的交联方法及含该聚合物的组合物
摘要 本发明涉及一种交联由下式表示的烷基苯乙烯聚合物的方法,∴包括辐照所述聚合物或在贵金属催化剂存在下固化所述聚合物以获得交联的聚合物;还涉及按所述方法形成的光致抗蚀剂;又涉及一种含所述烷基苯乙烯聚合物的组合物。
申请公布号 CN1247667C 申请公布日期 2006.03.29
申请号 CN03108605.5 申请日期 1997.12.22
申请人 埃克森美孚化学专利公司 发明人 J·M·J·普雷切特;S·A·哈奎;王宪章
分类号 C08J3/24(2006.01);C08L25/04(2006.01) 主分类号 C08J3/24(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 任宗华
主权项 1.一种交联由下式表示的聚合物的方法:<img file="C031086050002C1.GIF" wi="1418" he="538" />式中a是1-70000,b是0-70000,c是1-70000,d是1-70000,R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自为1-5个碳原子的烷基,R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>各自为氢或1-4个碳原子的烷基,R<sub>5</sub>是2-30个碳原子链烯基,R<sub>6</sub>和R<sub>7</sub>各自为至多30个碳原子的烷基或链烯基;R<sub>8</sub>是至多30个碳原子的羧基、羧基或羟基取代的烷基;该方法包括辐照所述聚合物或在贵金属催化剂存在下固化所述聚合物以获得交联的聚合物。
地址 美国得克萨斯