| 发明名称 | 位置测量装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于测量一个扫描单元和一个能在至少一个测量方向上移动的刻度尺的相对位置的位置测量装置，该扫描单元包括至少一个扫描光栅、至少一个偏转件以及多个光电探测件，其特征在于，至少一个五面棱镜(50，50’；500，500’)作为偏转件设置在该扫描单元(A，A’)内，该五面棱镜的棱边(51，51’)的取向平行于测量方向(x)并且所述五面棱镜在一个方向(y)上起到后向反射镜的作用，该方向(y)在刻度尺(90，900)平面内垂直于测量方向(x)。 | ||
| 申请公布号 | CN1248058C | 申请公布日期 | 2006.03.29 |
| 申请号 | CN01815669.X | 申请日期 | 2001.09.08 |
| 申请人 | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 | 发明人 | W·霍尔扎普菲尔;A·施雷贝尔 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01);G01D5/38(2006.01) | 主分类号 | G03F9/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 胡强;章社杲 |
| 主权项 | 1.测量一个扫描单元和一个能在至少一个测量方向上移动的刻度尺的相对位置的位置测量装置，该扫描单元包括至少一个扫描光栅、至少一个偏转件以及多个光电探测件，其特征在于，至少一个五面棱镜(50，50’；500，500’)作为偏转件被设置在扫描单元(A，A’)内，该五面棱镜的棱边(51，51’；510，510’)的取向平行于测量方向(x)并且所述五面棱镜在一个方向(y)上起到后向反射镜的作用，该方向(y)在刻度尺(90，900)平面内垂直于测量方向(x)。 | ||
| 地址 | 德国特劳恩罗伊特 | ||