发明名称 掺锰硅基磁性半导体薄膜材料及制法
摘要 掺锰硅基磁性半导体薄膜材料,锰与硅的摩尔比为1-10%的薄膜材料。其厚度为1-10,000nm。掺锰硅基磁性半导体薄膜材料的制法包括以下步骤:在硅薄膜材料真空锰溅射的方法,制成锰与硅的摩尔比为1-10%的厚度为1-10微米的硅薄膜,然后以温度为900-1400℃的范围内且在保护性气氛条件下将硅材料的结晶化,时间为20min-2小时,得到具有半导体性能要求的硅材料。掺锰硅材料表现出了铁磁性且具有高于400K的铁磁转变温度;同时,其电传输特性也呈半导体特性。
申请公布号 CN1248245C 申请公布日期 2006.03.29
申请号 CN200310112601.3 申请日期 2003.12.11
申请人 南京大学 发明人 张凤鸣;都有为
分类号 H01F1/40(2006.01);H01F41/02(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/06(2006.01) 主分类号 H01F1/40(2006.01)
代理机构 南京苏高专利事务所 代理人 成立珍
主权项 1、掺锰硅基磁性半导体薄膜材料,其特征是锰和硅组成,厚度1-10微米,锰与硅的摩尔比为:1-10%。
地址 210093江苏省南京市汉口路22号物理系