烷类气体的净化设备的研制

摘要

本发明涉及在镓－铟合金中加入某种特殊活性物质，该活性物质对砷烷、磷烷、硅烷和硼烷等多种特气中有害痕量杂质氧、水和二氧化碳等具有强烈的“吸附”，而对主体的砷烷、磷烷、硅烷和硼烷等多种特气无任何化学反应。以该活性物质为主要手段，配合其他吸附剂、过滤器、阀门、管道、接头、流量计、和真空泵和电气(温度和压力)控制等装配成用于电子工业的砷烷、磷烷、硅烷和硼烷等多种特气的净化装置。

主权项

1、一种在镓-铟合金中加入某种特殊活性物质，能深度脱除氧、水和二氧化碳等电子材料中有害杂质，一般可以达到0.01PPM以下(由于分析方法灵敏度的限制，小于0.01PPM杂质测试方法还不都具备)方法。其特征是利用净化剂中“活性”物质对氧、水和二氧化碳的强烈吸附的特性。