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发明名称 METHOD AND DESIGN FOR SPUTTER TARGET ATTACHMENT TO A BACKING PLATE
摘要
申请公布号 EP1639620(A2) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 EP20040755508 申请日期 2004.06.17
申请人 CABOT CORPORATION 发明人 WICKERSHAM, CHARLES, E., JR.
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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