| 发明名称 |
STORAGE SYSTEM FOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1639626(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.29 |
| 申请号 |
EP20040740098 |
申请日期 |
2004.06.19 |
| 申请人 |
DYNAMIC MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR EQUIPMENT GMBH |
发明人 |
MORAN, THOMAS, J. |
| 分类号 |
H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;B65G1/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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