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发明名称 X-ray reduction projection exposure system of reflection type
摘要
申请公布号 EP0947882(B1) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 EP19990201981 申请日期 1987.07.08
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SUZUKI, MASAYUKI;MOCHIZUKI, NORITAKA;MINAMI, SETSUO;OGURA, SHIGETARO;FUKUDA, YASUAKI;WATANABE, YUTAKA;KAWAI, YASUO;KARIYA, TAKAO
分类号 G03F7/20;G02B17/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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