发明名称 |
ION BEAM-ASSISTED HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTOR (HTS) DEPOSITION FOR THICK FILM TAPE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1638701(A2) |
申请公布日期 |
2006.03.29 |
申请号 |
EP20040776126 |
申请日期 |
2004.05.25 |
申请人 |
SUPERPOWER, INC. |
发明人 |
SELVAMANICKAM, VENKAT;LEE, HEE-GYOUN |
分类号 |
C23C14/08;C23C14/22;C23C14/28;C23C16/40;C23C16/48;H01L39/24;(IPC1-7):B05D5/12 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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