发明名称 ION BEAM-ASSISTED HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTOR (HTS) DEPOSITION FOR THICK FILM TAPE
摘要
申请公布号 EP1638701(A2) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 EP20040776126 申请日期 2004.05.25
申请人 SUPERPOWER, INC. 发明人 SELVAMANICKAM, VENKAT;LEE, HEE-GYOUN
分类号 C23C14/08;C23C14/22;C23C14/28;C23C16/40;C23C16/48;H01L39/24;(IPC1-7):B05D5/12 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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