发明名称 半导体封装物及其制造方法
摘要 本发明是一种半导体封装物及其制造方法,所述半导体封装物的制造方法,包括下列步骤:提供一封装基板,其具有第一热膨胀系数且于该封装基板的表面上具有至少一接垫;形成一集成电路晶片,具有多个电子装置以及至少一耦合结构,该耦合结构是用于电性耦合于该封装基板上至少一接垫,且该集成电路晶片具有异于该第一热膨胀系数的一第二热膨胀系数;移除该集成电路晶片不具有电子元件的一部的部分厚度,使该集成电路晶片与该封装基板于温度变化时可大体扭曲;以及将该集成电路晶片接合于该封装基板。
申请公布号 CN1753157A 申请公布日期 2006.03.29
申请号 CN200510059792.0 申请日期 2005.04.01
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 曹佩华;林椿杰;卢思维;卢景睿;黄传德;李明机
分类号 H01L21/50(2006.01);H01L21/60(2006.01);H01L21/58(2006.01);H01L23/12(2006.01);H01L23/50(2006.01);H01L23/00(2006.01) 主分类号 H01L21/50(2006.01)
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人 刘新宇
主权项 1、一种半导体封装物的制造方法,其特征在于所述半导体封装物的制造方法包括下列步骤:提供一封装基板,具有第一热膨胀系数且于该封装基板的表面上具有至少一接垫;形成一集成电路晶片,具有多个电子装置以及至少一耦合结构,该耦合结构是用于电性耦合于该封装基板上至少一接垫,且该集成电路晶片具有异于该第一热膨胀系数的一第二热膨胀系数;移除该集成电路晶片不具有电子元件的一部的部分厚度,使该集成电路晶片与该封装基板于温度变化时可扭曲;以及将该集成电路晶片接合于该封装基板。
地址 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号