发明名称 Method for Forming Insulate Layer of Semi-conductor Device
摘要
申请公布号 KR100565758(B1) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 KR20040041318 申请日期 2004.06.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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