微型内混式催化燃烧器

摘要

本发明涉及一种燃烧装置，旨在提供一种在燃烧器内部混合燃料气和氧化剂的微型内混式催化燃烧器。包括单晶硅材料的燃烧室、上预热室和下预热室，其上下表面键合形成三层结构；上、下预热室内部各有一条蚀刻的预热通道，燃烧室内部有依次相互连通的蚀刻的预混通道、燃烧区空腔和排气通道。本发明采用在燃烧室内混合氧化剂和燃料气可以减小燃烧器的外部结构，使燃烧器体积缩小，结构紧凑。燃料气和氧化剂的混合充分有利于燃烧的着火和稳定。燃料有较为充分的燃烧空间，同时降低流体的流动速度提高燃烧的效率，有利于预热和设备的安全。

主权项

1、一种微型内混式催化燃烧器，包括单晶硅材料的燃烧室，其特征在于，还分别有单晶硅材料的上预热室和下预热室与燃烧室上下表面键合形成三层结构；所述上预热室和下预热室内部各有一条蚀刻的预热通道，预热通道的入口分别在上预热室和下预热室外表面，两个预热通道的出口在上预热室和下预热室内表面，并穿透燃烧室相互连通；所述燃烧室内部有依次相互连通的蚀刻的预混通道、燃烧区空腔和排气通道，预混通道入口与两个预热通道的出口相互连通，排气通道的末端穿过上预热室或下预热室其中任意一层并在其外表面形成出口。