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发明名称 CORRECTIVE DEVICE FOR COMPENSATING DISTURBANCES OF POLARIZATION DISTRIBUTION, AND MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION LENS
摘要
申请公布号 EP1639393(A1) 申请公布日期 2006.03.29
申请号 EP20040739966 申请日期 2004.06.17
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HEMBD, CHRISTIAN
分类号 G02B5/30;G02B13/14;G02B17/08;G02B27/00;G02B27/28;G03F7/20;(IPC1-7):G02B5/30 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
主权项
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