| 摘要 |
"DISPOSITIVO DE RF". Trata-se de um dispositivo de RF que tem uma estrutura de suporte. Um eletrodo de RF, acoplado à estrutura de suporte, inclui partes condutora e dielétrica. Um membro de refrigeração, acoplado à estrutura de suporte, é configurado para refrigerar uma superfície traseira do eletrodo de RF. O membro de refrigeração fica distanciado da superfície traseira do eletrodo de RF. |
