| 发明名称 |
Method and apparatus for removing material from a substrate surface |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG120253(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.28 |
| 申请号 |
SG20050004992 |
申请日期 |
2005.08.05 |
| 申请人 |
NANOFILM TECHNOLOGIES INTERNATIONAL PTE LTD |
发明人 |
XU SHI;LI KANG CHEAH |
| 分类号 |
B29C33/72;H01L21/02;H01L21/311;H05K3/26 |
主分类号 |
B29C33/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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