| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SURFACE TREATING AGENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5264871(A) |
申请公布日期 |
1977.05.28 |
| 申请号 |
JP19750140725 |
申请日期 |
1975.11.26 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
MURAOKA HISASHI;ASANO MASAFUMI;OOHASHI TAIZOU;SHIMAZAKI YUUZOU |
| 分类号 |
H01L21/30;C23F1/10;C23G1/14;C23G3/00;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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