发明名称 Polishing pad using for polishing wafer surface
摘要
申请公布号 KR100564558(B1) 申请公布日期 2006.03.28
申请号 KR19990043788 申请日期 1999.10.11
申请人 发明人
分类号 B24D11/00 主分类号 B24D11/00
代理机构 代理人
主权项
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