发明名称 Device with low-k dielectric in close proximity thereto and its method of fabrication
摘要
申请公布号 SG120142(A1) 申请公布日期 2006.03.28
申请号 SG20040000595 申请日期 2004.01.14
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 CHENMING HU;DENNY TANG;TSENG HORNG-HUEI
分类号 H01L21/336;H01L21/44;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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