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发明名称 Dry Etching Gas
摘要
申请公布号 KR100563796(B1) 申请公布日期 2006.03.28
申请号 KR19997003982 申请日期 1999.05.04
申请人 发明人
分类号 C09K13/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
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