| 发明名称 |
Multi layer defects calculation method and system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG120198(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.28 |
| 申请号 |
SG20040005467 |
申请日期 |
2004.07.26 |
| 申请人 |
SYSTEMS ON SILICON MANUFACTURING COMPANY PTE. LTD. |
发明人 |
CHIN KON YIH |
| 分类号 |
(IPC1-7):H01L21/00;G01N21/95;H01L21/66 |
主分类号 |
(IPC1-7):H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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