| 发明名称 |
ELECTRON BEAM IRRADIATION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5360162(A) |
申请公布日期 |
1978.05.30 |
| 申请号 |
JP19760134986 |
申请日期 |
1976.11.10 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
TAKIGAWA TADAHIRO |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/00;H01J37/252;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
