PROBE DEVICE AND PROBE METHOD,申请号KR20047008063-传众专利搜索

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发明名称	PROBE DEVICE AND PROBE METHOD
摘要
申请公布号	KR100562845(B1)	申请公布日期	2006.03.24
申请号	KR20047008063	申请日期	2002.11.12
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;H01L21/66;G01R1/06;G01R31/28	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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