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经营范围
发明名称
Solidification apparatus of amorphous silicon and method thereof
摘要
申请公布号
KR100563045(B1)
申请公布日期
2006.03.24
申请号
KR20030008456
申请日期
2003.02.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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