Ferromagnetische Liner für Leiterbahnen von magnetischen Speicherzellen

摘要

Verfahren zum Bilden eines ferromagnetischen Liners auf Leiterbahnen einer magnetischen Speichereinrichtung und einer Struktur davon. Der ferromagnetische Liner erhöht die Konzentration des magnetischen Flusses, der durch den Strom, welcher durch die Leiterbahnen fließt, erzeugt wird, wobei die Menge des zum Schalten der magnetischen Speicherzellen benötigten Schreibstroms verringert wird. Die Leiterbahnen werden mittels eines Aufplattierverfahrens gebildet und der ferromagnetische Liner wird selektiv auf den plattierten Leiterbahnen gebildet. Der ferromagnetische Liner kann auch über den Leiterbahnen und einem oberen Bereich der Vias in einer peripheren Region des Substrats gebildet werden.