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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE AND METHOD OF OPERATING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060026245(A) 申请公布日期 2006.03.23
申请号 KR20040075097 申请日期 2004.09.20
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUNG HO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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