发明名称 |
Einkristall aus Silicium und Verfahren zu dessen Herstellung |
摘要 |
A silicon single crystal which has been produced using the Czochralski method has a <113> orientation. |
申请公布号 |
DE10205085(B4) |
申请公布日期 |
2006.03.23 |
申请号 |
DE2002105085 |
申请日期 |
2002.02.07 |
申请人 |
SILTRONIC AG |
发明人 |
AMMON, WILFRIED VON;DANTZ, DIRK;ZEMKE, DIRK;SEGIETH, FRANZ |
分类号 |
C30B15/20;C30B29/06;C30B15/00;C30B15/36 |
主分类号 |
C30B15/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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