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发明名称 SOLUTION SUPPLIER FOR THE SEMI-CONDUCTOR FABRICATING FACILITY
摘要
申请公布号 KR20060026365(A) 申请公布日期 2006.03.23
申请号 KR20040075250 申请日期 2004.09.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUN KYU
分类号 H01L21/027;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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