发明名称 |
Schichtverbund mit kubischen Bornitrid |
摘要 |
<p>Schichtverbund auf einem Substrat, wobei mindestens eine Einzelschicht des Schichtverbunds kubisches Bornitrid enthält und über eine Abscheidung hergestellt ist. Aufgabe ist es, einen derartigen Schichtverbund mit einer verbesserten Haftfestigkeit vorzuschlagen. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das kubische Bornitrid Sauerstoff enthält, welches während der Abscheidung zugegeben wird.</p> |
申请公布号 |
DE102004042407(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.23 |
申请号 |
DE20041042407 |
申请日期 |
2004.09.02 |
申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH |
发明人 |
ULRICH, SVEN;YE, JIAN;SELL, KONRAD;STUEBER, MICHAEL |
分类号 |
C23C16/34;C23C14/06;C23C28/00 |
主分类号 |
C23C16/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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