| 摘要 |
Ein Feuchtigkeitssensor umfasst ein Substrat (1), ein Paar von Elektroden (2), die in einem Abstand zueinander und einander gegenüberliegend in derselben Ebene auf dem Substrat (1) angeordnet sind, und eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht (3), die auf dem Substrat (1) so angeordnet ist, dass sie das Paar von Elektroden (2) und das Substrat (1) zwischen dem Paar von Elektroden (2) überdeckt. Die feuchtigkeitsempfindliche Schicht (3) ist aus einem feuchtigkeitsempfindlichen Material gebildet, das Perlen (3a) enthält. Da die Perlen (3a), die die gleiche Größe aufweisen, teilweise in einer Schicht angeordnet sind, kann erreicht werden, dass die Dicke der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht (3) gleichmäßig ist, wobei der Durchmesser der Perlen (3a) als Maßstab verwendet wird.
|
