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发明名称 PHOTORESIST ZUSAMMENSETZUNGEN MIT POLYCYCLISCHEN POLYMEREN MIT SÄURELABILEN GRUPPEN AM ENDE
摘要
申请公布号 DE69733469(T2) 申请公布日期 2006.03.23
申请号 DE1997633469T 申请日期 1997.03.06
申请人 SUMITOMO BAKELITE CO. LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 GOODALL, L.;JAYARAMAN, SAIKUMAR;SHICK, A.;RHODES, F.
分类号 G03F7/039;H01L21/027;C08F4/80;C08F32/00;C08F32/08;C08G61/08;C08L45/00;C08L65/00;G03F7/004;G03F7/038 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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