发明名称 VERFAHREN ZUM ENTFERNEN EINER FLÜSSIGKEIT VON EINER OBERFLÄCHE EINER SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE69828592(T2) 申请公布日期 2006.03.23
申请号 DE19986028592T 申请日期 1998.09.24
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW, HEVERLEE 发明人 MERTENS, PAUL;MEURIS, MARC;HEYNS, MARC
分类号 H01L21/00;H01L21/306;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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