成形后具有更均匀温度分布的热致动器

摘要

一种用于微机电装置的热致动器，致动器包括第一电传导材料臂，它一端安装在基底而另一端连接到或集成到一个可移动元件上，使用时，令电流从所述第一臂流过而使其加热，并且，第一臂包括用于沿该臂提供长度方向上温度分布的热沉，其中热量在所述臂中被集中于邻近一端的区域；以及一个第二臂，伸展在基底和可移动元件之间，并且被安排成在第一臂被加热时，使第一臂相对于第二臂伸长，并将一偏转力施加在可移动元件上。由此提供了更均匀的热分布，改善了弯曲效应。

主权项

1.一种用于微机电装置的热致动器，所述致动器包括第一电传导材料臂，它一端安装在基底而另一端连接到或集成到一个可移动元件上，使用时，令电流从所述第一臂流过而使其加热，并且，所述第一臂包括用于沿所述臂提供长度方向上温度分布的热沉，其中热量在所述臂中被集中于邻近所述一端的区域；以及一个第二臂，伸展在所述基底和所述可移动元件之间，并且被安排成在所述第一臂被加热时，使所述第一臂相对于所述第二臂伸长，并将一偏转力施加在所述可移动元件上。