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发明名称
摘要
申请公布号
JP3757066(B2)
申请公布日期
2006.03.22
申请号
JP19980311160
申请日期
1998.10.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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