超精密微小差压测量装置及超精密差压测量装置

摘要

本发明提供一种超精密微小差压测量装置，其在不经由机械的滑动部的情况下将微小差压传递给电子式称量·压力转换器，由此，可以以高精度连续地测量微小差压，且构造简单从而可大幅度地降低制造成本。具体地说，超精密微小差压测量装置包括：装置主体(1)，其在内部具有空间部；受压板(3)，其配置在装置主体(1)的内部空间内，将该内部空间气密地划分为下部空间(7)和上部空间(8)；电子式称量·压力转换器(2)，其配置在下部空间(7)内，在其上支承固定受压板(3)；液封部(R)，其对上述受压板(3)的外周缘部进行液封，保持下部空间(7)和上部空间(8)之间的气密；经由受压板(3)通过电子式称量·压力转换器(2)测量上部空间(8)内的压力(P₁)和下部空间(7)内的压力(P₂)之间的微小差压。

主权项

1.一种超精密微小差压测量装置，其特征在于，包括：装置主体(1)，其在内部具有空间部；受压板(3)，其配置在装置主体(1)的内部空间内，将该内部空间气密地划分为下部空间(7)和上部空间(8)；电子式称量·压力转换器(2)，其配置在下部空间(7)内，在其上支承固定受压板(3)；液封部(R)，其对上述受压板(3)的外周缘部进行液封，保持下部空间(7)和上部空间(8)之间的气密；该装置构成为，经由受压板(3)，通过电子式称量·压力转换器(2)测量上部空间(8)内的压力(P1)和下部空间(7)内的压力(P2)之间的微小差压。