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发明名称
Copolymer by alicyclic olefin having secondary hydroxyl group and acryl compound and chemically amplified resist composition containing it
摘要
申请公布号
KR100562205(B1)
申请公布日期
2006.03.22
申请号
KR20040072926
申请日期
2004.09.13
申请人
发明人
分类号
C08G61/02;G03F7/004
主分类号
C08G61/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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