发明名称 |
磁性粒子辅助纳米压印的方法 |
摘要 |
一种磁性粒子辅助纳米压印的方法,属于纳米压印、微纳米图形转移、微机电技术领域。本发明通过增加磁性粒子工艺来改善聚合物填充母板程度,首先加工母板及对母板表面进行处理,然后用加载磁体的母板对施加了磁性粒子的聚合物实施热压或纳米压印,得到与母板完全互补的聚合物结构。通过本发明中增加的磁性粒子工艺,得到的聚合物结构完全真实地复制了母板中的图案,其填充率得到很大的提高。 |
申请公布号 |
CN1749000A |
申请公布日期 |
2006.03.22 |
申请号 |
CN200510030441.7 |
申请日期 |
2005.10.13 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
刘景全;孙洪文;陈迪;朱军 |
分类号 |
B41C1/00(2006.01);B41C1/02(2006.01);B41C1/055(2006.01);B41N3/03(2006.01) |
主分类号 |
B41C1/00(2006.01) |
代理机构 |
上海交达专利事务所 |
代理人 |
王锡麟;王桂忠 |
主权项 |
1、一种磁性粒子辅助纳米压印的方法,其特征在于,首先加工母板及对母板表面进行处理,然后用加载磁体的母板对施加了磁性粒子的聚合物实施热压或纳米压印,得到与母板完全互补的聚合物结构。 |
地址 |
200240上海市闵行区东川路800号 |