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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SILICIDE AND SEMICONDUCTOR WITH THE SILICIDE
摘要
申请公布号 KR100562310(B1) 申请公布日期 2006.03.22
申请号 KR20030021958 申请日期 2003.04.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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