ELECTRON DENSITY MEASUREMENT AND PLASMA PROCESS CONTROL SYSTEM USING CHANGES IN THE RESONANT FREQUENCY OF AN OPEN RESONATOR CONTAINING THE PLASMA,申请号EP20000975171-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	ELECTRON DENSITY MEASUREMENT AND PLASMA PROCESS CONTROL SYSTEM USING CHANGES IN THE RESONANT FREQUENCY OF AN OPEN RESONATOR CONTAINING THE PLASMA
摘要
申请公布号	EP1212611(A4)	申请公布日期	2006.03.22
申请号	EP20000975171	申请日期	2000.07.20
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	VERDEYEN, JOSEPH, T.;JOHNSON, WAYNE, L.;SIRKIS, MURRAY, D.
分类号	G01N27/62;H01J37/32;H05H1/00;H05H1/46	主分类号	G01N27/62
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

ENTRY/DEPARTURE DISPLAY SYSTEM

POLYMER-IMPREGNATED CEMENTITIOUS PRODUCTS

POLYESTER COMPOSITE PROCESSED YARN

HAMMER FOR MEASURING SHAKING DEGREE OF TOOTH GERM

WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR DE VERVAARDIGING VAN VOORWERPEN OF VORMSTUKKEN MET EEN DRIEDIMENSIONAAL WEEFSEL UIT DRADEN, FILAMENTEN, LONTEN, VEZELS OF DERGELIJKE.

USE OF A STEROID

PROCEDIMIENTO PARA PREPARAR-2-(BENZOILO-2-SUBSTITUIDAS-1,3-CICLOHEXANODIONAS

DRANKENAUTOMAAT MET ELECTROMAGNETISCHE MENGINRICHTING.

FAESTDON OCH FOERFARANDE FOER FAESTDONETS FRAMSTAELLNING.

PAPIRMASKINFILT.

Wear meter for piston rings - detects changes in vertical position of piston rod in horizontal reciprocating machine

Mfg. medium heater - by closing space between tank and casing with fibrous strip before filling with insulation

APPARAT TIL AFSKAERING AF EN EKSTRUDERET, HALVFLYDENDE STROEM

REGELINRICHTING VOOR EEN TRAPLOOS VARIABELE VOERTUIGTRANSMISSIE.

ROERFORBINDELSESSTYKKER

GESUBSTITUEERDE CYCLOPENTENEN ALS GEURSTOFFEN, PARFUMCOMPOSITIES DIE DEZE CYCLOPENTENEN BEVATTEN EN WERKWIJZE VOOR DE BEREIDING VAN GESUBSTITUEERDE CYCLOPENTEENDERIVATEN.

WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN DIAMOND HEAT SINK.

WERKWIJZE VOOR HET BEREIDEN VAN TRICYCLISCH GESUBSTITUEERDE AMINOALKOHOLEN EN HUN NIET-TOXISCHE ZOUTEN, WERKWIJZE VOOR HET BEREIDEN VAN EEN GENEESMIDDEL MET WERKING OP HART EN BLOEDSOMLOOP, ALSMEDE GEVORMD GENEESMIDDEL.