| 发明名称 |
Apparatus for transporting and placing substrates comprising semiconductor chips |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1282155(B1) |
申请公布日期 |
2006.03.22 |
| 申请号 |
EP20010202921 |
申请日期 |
2001.07.30 |
| 申请人 |
ESEC TRADING S.A. |
发明人 |
SUTER, GUIDO;KELLENBERGER, DANIEL |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/52;H05K13/04 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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