发明名称 |
SUPPORT DEVICE FOR A PREPARATION FOR THE SEPARATION OF INDIVIDUAL OBJECTS FROM THE PREPARATION BY MEANS OF LASER IRRADIATION |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1309846(B1) |
申请公布日期 |
2006.03.22 |
申请号 |
EP20010974196 |
申请日期 |
2001.08.16 |
申请人 |
P.A.L.M. MICROLASER TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SCHUETZE, KARIN |
分类号 |
G01N1/28;G01N33/48;G01N1/04 |
主分类号 |
G01N1/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|