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发明名称 METHOD OF FORMING MEMORY CAPACITOR CONTACT OPENINGS
摘要
申请公布号 EP1277209(B1) 申请公布日期 2006.03.22
申请号 EP20000962009 申请日期 2000.07.24
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 TRAN, LUAN, C.
分类号 G11C5/00;H01L21/768;G11C11/24;H01L21/60;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 G11C5/00
代理机构 代理人
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