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经营范围
发明名称
SYSTEMS FOR INSPECTION OF PATTERNED OR UNPATTERNED WAFERS AND OTHER SPECIMEN
摘要
申请公布号
EP1636572(A1)
申请公布日期
2006.03.22
申请号
EP20040754334
申请日期
2004.06.04
申请人
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人
BEVIS, CHRISTOPHER, F.;KIRK, MIKE;VAEZ-IRAVANI, MEHDI
分类号
G01N21/47;G01N21/94;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/95
主分类号
G01N21/47
代理机构
代理人
主权项
地址
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