发明名称 一种等离子显示屏透明电极的修复方法
摘要 本发明公开了一种等离子显示屏透明电极的修复方法。该方法首先在带有ITO膜的前玻璃基板【1】上用贴膜机粘贴感光抗蚀膜【2】,然后通过ITO的母板对感光抗蚀膜【2】曝光和显影并在其上形成ITO电极的图形【3】;再通过检查设备对整个带有图形【3】的膜面进行检查,找出膜面上影响ITO刻蚀的缺陷【4】并对其进行定位,并将其坐标传送于修复设备;通过修复设备找到缺陷【4】并在其上涂敷保护ITO膜不被刻蚀掉的油性物质形成保护图形【5】,然后对这些保护过的屏进行刻蚀;最后通过激光修理机将多余的或短路的ITO膜【7】去掉,激光切割时沿着原来ITO电极图形【3】的边缘进行。本发明方法修复的ITO电极图形完好,厚度均匀一致,几乎看不到修复的痕迹。
申请公布号 CN1750215A 申请公布日期 2006.03.22
申请号 CN200510096152.7 申请日期 2005.10.14
申请人 彩虹集团电子股份有限公司 发明人 罗向辉;丁兴隆
分类号 H01J9/02(2006.01);H01J9/50(2006.01) 主分类号 H01J9/02(2006.01)
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 刘国智
主权项 1.一种等离子显示屏透明电极的修复方法,其特征是,该方法包括下述步骤:a)首先在带有ITO膜的前玻璃基板【1】上用贴膜机粘贴感光抗蚀膜【2】,然后通过ITO的母板对感光抗蚀膜【2】曝光和显影并在其上形成ITO电极的图形【3】;b)再通过检查设备对整个带有图形【3】的膜面进行检查,找出膜面上影响ITO刻蚀的缺陷【4】并对其进行定位,并将其坐标传送于修复设备;c)在缺陷【4】上涂敷保护ITO膜不被刻蚀掉的油性物质形成保护图形【5】,然后对这些保护过的屏进行刻蚀;d)最后通过激光修理机将多余的或短路的ITO膜【7】去掉,激光切割时沿着原来ITO电极图形【3】的边缘进行。
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