| 发明名称 |
Micro-electro-mechanical mirror structure |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1193524(B1) |
申请公布日期 |
2006.03.22 |
| 申请号 |
EP20010307631 |
申请日期 |
2001.09.07 |
| 申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
PETERS, ERIC;ROSA, MICHEL A. |
| 分类号 |
G02B26/02;G02B26/08;G02B5/08;G02B6/35;G02B7/182 |
主分类号 |
G02B26/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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