| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY SOLUTIONS USING GASEOUS HYDROGEN FLUORIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1171379(B1) |
申请公布日期 |
2006.03.22 |
| 申请号 |
EP20000922565 |
申请日期 |
2000.03.29 |
| 申请人 |
HONEYWELL SPECIALTY CHEMICALS SEELZE GMBH |
发明人 |
SIEVERT, WOLFGANG |
| 分类号 |
C01B7/09;C01B7/19;C01B7/01;C09K13/08;C01C1/16;H01L21/306;H01L21/311 |
主分类号 |
C01B7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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