| 主权项 |
1.一种连续处理装置,属于对于被处理体的处理对 象面连续地施以复数种类的处理所用的连续处理 装置,其特征为具备: 保持上述被处理体而沿着搬运方向搬运上述被处 理体所用的被处理体搬运部,及 沿着上述被处理体的上述搬运方向并排地排列,且 对于上述被处理体的上述处理对象面以大气压或 大气压附近的压力下依次施以各不相同的处理所 用的复数种类的处理单元; 上述复数种类的处理单元的种类,是自由地变更及 追加组合。 2.如申请专利范围第1项所述的连续处理装置,其中 ,上述被处理体搬运部是具备:装卸自如地吸附与 上述被处理体的上述处理对象面相反侧的保持对 象面并予以保持的吸附部,及将上述吸附部朝上述 搬运方向引导的引导构件,及将上述吸附部沿着上 述引导构件移动的驱动部。 3.如申请专利范围第1项或第2项所述的连续处理装 置,其中,上述被处理体搬运部是以朝下方状态搬 运上述被处理体的上述处理对象面;上述复数种类 的处理单元是对于上述被处理体的上述处理对象 面朝上方进行处理动作。 4.如申请专利范围第3项所述的连续处理装置,其中 ,上述复数种类的处理单元是包括洗净处理单元, 乾燥处理单元,表面改质处理单元,液剂涂布处理 单元,退火处理单元。 5.如申请专利范围第1项所述的连续处理装置,其中 ,上述被处理体是显示装置的基板。 6.一种连续处理方法,属于对于被处理体的处理对 象面连续地施以复数种类的处理所用的连续处理 方法,其特征为: 保持上述被处理体而沿着搬运方向一面搬运上述 被处理体,一面使用沿着上述被处理体的上述搬运 方向并排地排列复数种类的处理单元,对于上述被 处理体的上述处理对象面以大气压或大气压附近 的压力下依次施以各不相同的处理之际,按照上述 被处理的种类自由地变更及追加上述复数种类的 处理单元的种类的组合。 7.如申请专利范围第6项所述的连续处理方法,其中 ,上述被处理体搬运部是以朝下方状态搬运上述被 处理体的上述处理对象面;上述复数种类的处理单 元是对于上述被处理体的上述处理对象面朝上方 进行处理动作。 8.如申请专利范围第7项所述的连续处理方法,其中 ,上述复数种类的处理单元是包括洗净处理单元, 乾燥处理单元,表面改质处理单元,液剂涂布处理 单元,退火处理单元。 图式简单说明: 第1图是表示本发明的连续处理装置的第一实施形 态的图式。 第2图是表示第1图的洗净处理单元的例子的图式 。 第3图是表示第1图的乾燥处理单元的例子的图式 。 第4图是表示第1图的亲液处理单元的例子的图式 。 第5图是表示第1图的疏液处理单元的例子的图式 。 第6图是表示第1图的液剂涂布处理单元的例子的 图式。 第7图是表示本发明的连续处理方法的例子的图式 。 第8图是表示本发明的被处理体的复数种类处理的 例子的图式。 第9图是表示作为包含被处理体的一例的液晶显示 装置的一部分的图式。 第10图是表示本发明的连续处理装置的第二实施 形态的图式。 |
